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TCP系列气体质量流量控制器

TCP系列气体质量流量控制器

产品详情

产品介绍

     TCP系列气体质量流量控制器,专为集成电路设计的高端产品,拥有更宽的流量比和设定精度。配置出色的低温漂特性,独特的PID控制算法以及非线性气体换算函数,可在全量程范围内实现快速的响应,控制精度亦达到最佳,最大程度降低流量过程控制的误差。

特征

1、高精度气体控制
2、低温漂特性
3、反应灵敏,响应时间在0.7s以内
4、不限定气体种类(采用流量转换系数,以N2校准为基准、可对应各种气体)
5、高精度特气测控技术
6、安装方向任意(可自由安装

TCP气体质量流量控制器结构参数

型号 MFC
类型 TCP系列
流量规格 (10,30,50,100,200,300,500)SCCM
(1,2,3,5,10,20,30,50,100)SLM
控制阀类型 NC:常闭/NO;常开
关闭时流量 ≤0.5%F.S.(典型值)
流量控制范围 1.5~100%F.S
流量精度 ±0.2% F.S.(Q≤20% F.S.)
±1%S.P.(Q>20%F.S.)
线性 ≤±0.5% F.S.
重复性 ≤±0.2% F.S.
零点漂移 无零点校正时小于0.5%F.S./年
工作环境温度 5~50℃
温度系数 ≤±0.02% S.P./℃
响应时间 ≤0.7s
工作压差范围 50~400kPa(依据量程不同有所差异)
最大工作压力 500kPa
漏率 5x10-12Pa.m3/sec(He)
通讯方式 数字:RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus;模拟:0-5V DC(4-20mA)
内部接触表面 sRa0.1Cr/Fe比例≥2.0;CrO厚度≥20(埃)
标准接头 VCR:1/4"、1/2"
Swagelok: 1/4 "、 3/8 "、 1/2 "、Φ6、Φ8
IGS: 1.125in、1.5in(C-Seal、W-seal)

    • 地址:广东省深圳市宝安区新安街道大宝路83号美生慧谷科技产业园4楼
    • 手机:136 6267 1610
    • 电话:0755-3354 8689
    • 邮箱:sunny@festogd.com
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