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FC系列气体质量流量控制器

FC系列气体质量流量控制器

产品详情

产品介绍

      FC系列气体质量流量控制器,拥有RS485/Profibus/DeviceNet/EtherCAT/模拟量等多样化的通讯方式,可为客户提供更加灵活的选择。FC系列严格遵循SEMI相关标准,气体接触面粗糙度均达到Ra0.1,拥有更加卓越的耐腐蚀性能
特征
1、高精度气体控制
2、低温漂特性
3、反应灵敏,响应时间在0.7s以内
4、不限定气体种类(采用流量转换系数,以N2校准为基准、可对应各种气体)
5、高精度特气测控技术
6、安装方向任意(可自由安装)
FC气体质量流量控制器结构参数

型号 MFC
类型 FC系列
流量规格 (10,30,50,100,200,300,500)SCCM
(1,2,3,5,10,20,30,50,100,150,200,300,500)SLM
控制阀类型 NC:常闭/NO;常开(电磁/压电)
关闭时流量 ≤2% F.S.
流量控制范围 ±0.25% F.S.(Q≤25% F.S.)
±1%S.P.(Q>25%F.S.)
流量精度 ±1%F.S.
线性 ≤±0.5% F.S.
重复性 ≤±0.3% F.S.
零点漂移 无零点校正时小于0.2%F.S./年
工作环境温度 10~45℃
温度系数 ≤±0.05% S.P./℃
响应时间 ≤1s
工作压差范围 50~400kPa(依据量程不同有所差异)
最大工作压力 450kPa
漏率 1×10-11Pa.m3/sec(He)
通讯方式 数字:RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus;模拟:0-5V DC(4-20mA)
内部接触表面 sRa0.1Cr/Fe比例≥2.0;CrO厚度≥20(埃)
标准接头 VCR:1/4"、1/2"
Swagelok: 1/4 "、 3/8 "、 1/2 "、Φ6、Φ8
IGS: 1.125in、1.5in(C-Seal、W-seal)

 

    • 地址:广东省深圳市宝安区新安街道大宝路83号美生慧谷科技产业园4楼
    • 手机:136 6267 1610
    • 电话:0755-3354 8689
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