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FCP质量流量控制器

FCP质量流量控制器

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质量流量控制器是半导体制造设备的关键。它利用温度变化对应于质量流量的原理,可以测量和控制不同气体的流量。
质量流量控制器的应用范围很广,可以满足从毫升到数百升的气体流量控制范围的工作条件,不受环境温度和压力变化的影响。
型号 FCP质量流量控制器/ FMM质量流量计
量程 10SCCM 1SLM 30SLM
50SCCM 5SLM 50SLM
100SCCM 10SLM 75SLM
500SCCM 20SLM 100SLM
准确度 ±1%S.P.(> 25%F.S.)  ±0.25%S.P.(≤25%F.S.)
关闭时的流量 ≤2%
流量控制范围 2~100%
流量测量范围 0~100%
线性 ≤ 0.5%F.S .
重复精度 ≤ 0.2% F.S .
响应时间 ≤1s
工作压差范围 50-300Kpa
温度系数 零点:≤0.05% f . s ./℃;调整:≤ 0.1% F.S. / ℃
最大工作压差 450千帕
耐压 1MPa
漏率 ≤5×10-12Pa·m3/秒(He)
密封材料 氟橡胶;氯丁橡胶;金属密封圈
工作环境温度 5~50℃
输入信号 数字:RS485或DeviceNET 模拟:0至5伏DC
输出信号 数字:RS485或DeviceNET:0至5伏DC
零点漂移 无零点修正时<0.5%F.S./年,
电源 +DC 24V
标准接头形式

VCR:1/4''、3/8''、1/2''

IGS: 1.125英寸、1.5英寸

电源接头形式 d型9针公头、5针M12接头
安装方向 任意

    • 地址:广东省深圳市宝安区新安街道大宝路83号美生慧谷科技产业园4楼
    • 手机:133 1683 3194
    • 电话:0755-3354 8689
    • 邮箱:Colin@festogd.com
    • 网址:https://www.festogd.com

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