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质量流量控制器的内部结构及工作原理

日期:2022-07-08    阅读数:


质量流量控制器由流量传感器、分流器、通道、流量调节阀和控制电路等部件组成,结构如上图所示。气体通过质量流量控制器(简称MFC)时,大部分气体通过层流元件,成比例的部分气体通过流量传感器。 采用恒温差方案的热式传感器将流量信号转换为申信号,以此为基准测量当前通过MFC的气体流量大小。微控制器比较设定信号与实际流量信号的差值,并驱动压电陶瓷,实时动态的调整当前流量大小,以达到理想的设定值。质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S.
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