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费尔顿-质量流量控制器的应用

日期:2022-07-08    阅读数:

质量流量控制器是半导体制造设备的关键,其利用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同气体进行流量测量及控制。质量流量控制器的应用十分广泛,可应对毫升级至数百升级的气体流量控制范围的工况需求,且不受环境温度及压力变化的影响。

质量流量控制器有以下几点特征:

1. 温度不敏感,可应对多种气体;
2. 压力不敏感,可应对多种量程;
3. 高精度高响应;
4. 可采用多种caizh材质密封

质量流量控制器已充分应用于半导体行业,光伏行业,光纤行业,FPD行业


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